台灣物聯網協會（TIOTA）為推動數位轉型、智慧製造與AI應用的深度落地，理事長李明啟動會員企業深度交流行程，走訪多家物聯網（IoT）與人工智慧（AI）領域的創新企業，目標是加速產業合作與策略聯盟。李明理事長強調，在全球物聯網生態系中，跨域創新已成為產業升級的關鍵驅動力。TIOTA 將持續整合會員資源，特別是在大數據、雲端平台與前沿技術的融合應用上，以提升台灣在全球市場的競爭力與能見度。

半導體痛點剖析：為何能源數據成為良率的「關鍵武器」？

在全球半導體產業持續追求更高精度與更高良率的今天，每一次設備運轉的細微變化，都可能是產線穩定與成本控制的關鍵。長期以來，能源監控系統被視為「節能工具」，但隨著製程複雜度和能源品質要求的提升，單純的節能已不足以應對半導體製造的挑戰。

在晶圓廠的生產現場，一台關鍵製程設備的異常，可能意味著數百萬美元的損失。不論是RTP（快速升溫製程處理）、磊晶設備、蝕刻機、真空爐，還是陶瓷燒結爐，這些設備的運轉穩定性都深受能源品質影響。電壓微幅波動、瞬時諧波干擾、非預期的電流異常，都可能導致溫度曲線偏差、製程參數漂移，最終影響良率。

傳統能源監控系統存在三大核心痛點：

1. 高成本與長工期：安裝需佈線、停機、改裝，對產線運行影響巨大。

2. 監控深度不足：多數僅能監測到設備端（Level 4），難以深入子系統（Level 5）的細節。

3. 數據孤島化：秒級數據難以即時整合進製程系統，無法支持即時決策。

展綠科技從節能進化——半導體製程的「能源行為數據解碼師」

展綠科技（3Egreen）推出「非侵入式、毫秒級」能耗監測技術，協助多家國際級半導體及製造業客戶，在不停機、不斷電、不拉線的條件下，精準掌握設備能耗細節。結合AI分析與基準線制定，平均節能效率超過10%，有效落實ESG與碳盤查，樹立智慧節能與能源管理新標準。

展綠科技專為半導體製造的痛點而生，推出了三項核心技術升級：

1. 擴大參數範圍（Energy Meter、DC全覆蓋）：半導體設備的供電規格多樣，從高壓交流電源到直流的特殊電路皆有應用。新一代展綠感測模組一樣不需停機斷電，可全面支援電壓、電流、功因與諧波範圍，確保在不同製程環境下皆能精準監測各項參數。

2. 提升量測精度（每秒一萬次取樣）：高速製程對能源品質的敏感度極高。展綠將取樣頻率提升至每秒10,000次，足以捕捉到毫秒級的能耗波動，從而揭露瞬間發生的電流衝擊、電壓衰減或諧波異常，讓工程團隊及時介入。

3. AI設備行為模型（結合NVIDIA設備）：展綠自研的AI行為模型能夠即時分析能耗曲線、溫度與負載變化，建立「設備健康檔案」。透過與NVIDIA Jetson Nano的邊緣運算能力結合，系統可在現場即時運算，提前發出異常預警，並建議維護時機，避免突發停機。

展綠產品具備的優勢與特色，能夠符合精密、大量與24小時連續生產的高階製造業需求。(圖/展綠科技提供)

加速落實 ESG、碳盤查與智慧節能

展綠科技的「非侵入式能耗監測」方案，專為半導體廠區的高精度製程需求設計，具備不停機安裝、無線傳輸與自動充電的特性，能在不影響產線運作的情況下快速部署。該方案結合靈活的感測技術與即時數據回傳能力，協助客戶以零中斷的方式升級能源監控系統，並在短期內完成POC驗證。

展綠科技透過智慧鉤表與感測模組的整合，為產線帶來高效能、低干擾與快速落地的解決方案，清楚展現能源數據在半導體製程中的即時應用價值，並進一步支持企業在良率穩定、維護優化與能源管理上的升級。清晰展現了能源數據不再僅是「節能」工具，而是提升製造業良率與製程優化的關鍵武器。不僅為智慧節能與能源管理樹立了新標準，更有效支持企業落實 ESG永續發展與碳盤查等全球化目標。

為加速物聯網、AI 與智慧製造的解決方案在垂直產業的落地應用，邁達特METAMatch AI雲市集將持續推進展綠科技技術的市場落地應用，共同推升台灣產業邁向智慧製造新時代。無論您的企業屬於製造業、半導體業或任何其他垂直產業，METAMatch 都是您尋找創新方案、專業服務、以及策略合作夥伴的絕佳平台。

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文章出處：本文經「展綠科技」授權，原文發表於經濟日報 及 Digitimes